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FOUP 清洗机
特点和优势
◎ 多达十段清洗流程设定，工艺窗口更宽；
◎ 含有自动执行状态显示，快速检视状态及工作时间；
◎ 扭力侦测转篮卡榫未定位保护，降低因人为导致设备损坏；
◎ 主轴以伺服马达控制达到稳定加减及转速数值化设定控制；
◎ 旋转式离心清洗，可正反调速旋转，对于产品表面的附着残留物容易清除；
◎ 以IR烘烤加速干燥时间，无任何水份残留；
◎ 采用一 流体（二流体选项）的清晰模式，能有效的去除微小的污染物；
◎ 操作程序PLC控制可按作业需求自由调整，方便快捷，人性化设计；
产品参数
| 项目 | 内容 |
| 产品数量 |
12pcs/批次（12寸Foup）
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| 旋转主轴转速 | Max200rpm (自定义） |
| 夹具 |
（Max12寸Foup/Cassette）
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| 主轴旋转方式 | 正转/反转（自定义） |
| 电源供应 | 三相五线AC380V 50Hz 33KW 85A (带外置液箱） |
| 清洗机尺寸 |
1980mm（长）×2070mm（宽）×2550mm（高）（包含脚杯、排气口高度）
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| 设备尺寸 |
3070mm（长）×4450mm（宽）×2550mm（高）（清洗机+自动上下料）⸺Options
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