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FOUP 清洗机
特点和优势
多达十段清洗流程设定,工艺窗口更宽;
含有自动执行状态显示,快速检视状态及工作时间;
扭力侦测转篮卡榫未定位保护,降低因人为导致设备损坏;
主轴以伺服马达控制达到稳定加减及转速数值化设定控制;
旋转式离心清洗,可正反调速旋转,对于产品表面的附着残留物容易清除;
以IR烘烤加速干燥时间,无任何水份残留;
采用一 流体(二流体选项)的清晰模式,能有效的去除微小的污染物;
操作程序PLC控制可按作业需求自由调整,方便快捷,人性化设计;
产品参数
项目 内容
产品数量
12pcs/批次(12寸Foup)
旋转主轴转速 Max200rpm (自定义)
夹具
(Max12寸Foup/Cassette)
主轴旋转方式 正转/反转(自定义)
电源供应 三相五线AC380V 50Hz 33KW 85A (带外置液箱)
清洗机尺寸
1980mm(长)×2070mm(宽)×2550mm(高)(包含脚杯、排气口高度)
设备尺寸
3070mm(长)×4450mm(宽)×2550mm(高)(清洗机+自动上下料)⸺Options
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