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全自动精密固化炉
10个加热温区提供更具敏捷性及精度的工艺曲线。
 300*100mm加热平台, 兼容半导体工业大的框架。
 提供更佳混合气的气流设计,提供更佳的气体保护环境,更有保证的固化品质。
 N2 and N2+H2 气体加热系统, 不高于450℃。
超温报警保护设计,对于产品和设备提供更好的保护。
 每个温区独立的压缩气体冷却系统。能力
 PC 基础,Windows操作系统,友好的人机界面。
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