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BLC CIS300
产品自动调心轨道设计,更换产品时轨道无需做任何硬件调整;
 自动对齐产品移栽模组,带有真空吸附功能;
 QC检查模组;
 宽度自动调整轨道;
双压轮模组设计,确认进出料稳定性;
 双向可定义料盒平台;
 料盒处理模组带有Y,Z方向卡料设计,尽限度保护产品;
 配备5um FFU模块;
 设备外壳双8K镜面设计;
 满足Class100 洁净度等级(加热腔体内部洁净度与固化胶水固化时成分挥发有关)。
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