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AP-1000 等离子系统


特点和优势
采用PLC控制,触摸屏式人机界面,实时工艺监控
灵活的电极组合适用于不同类型的产品载具实现Direct 或DownStream 模式等离子工艺
具有自动阻抗匹配的13.56MHz射频电源保证工艺的重复性
专有软件控制系统可记录工艺和生产数据,便于统计和工艺控制


苛刻生产环境下均匀的等离子体处理技术

  诺信MARCH的AP-1000系统专为满足高性能制造环境下24小时操作严格要求而设计,可实现均匀等离子体处理,安全稳定且操作简便。
  Ap1000型采用紧凑式设计,占地面积小,真空泵、腔体和电气控制件以及13.56MHZ射频电源都整合在设备内部,设备前部可方便完成操作维护,带有脚轮的真空泵装置方便检修。
  等离子腔采用美规11标号的不锈钢和铝支架制造,坚久耐用。腔内可调整的电极组根据不同的产品载具,包括料盒、托盘、晶圆、晶舟等可灵活组合配置。


提高了生产率,满足大容量生产力要求

  搭配HTP(高产能)电极的AP-1000等离子系统是综合了March特有的电极设计和AP-1000的高可靠性及其优良的工艺性。AP-1000 HTP充分利用了射频等离子产生的活性离子,不仅缩短工艺时间而且提高处理均匀性。
  AP-1000HTP配备4路气体流量控制器,因工艺需求可选用不同的气体包括氩气、氢气和氦气等。
  开槽式料盒可竖放于工艺腔内,通常每个料盒可放置20条引线框,根据料盒尺寸大小,一炉可放置12个料盒。


产品参数
项目 内容
外壳尺寸
W(宽) x D (长) x H 高) -占地面积 0.68米宽 x 1.127米长 x 1.89米高
净重 485 公斤 (1069磅)
设备间隙 右边、左边-至少153 毫米,前面- 至少680毫米,后面-至少483毫米
处理腔体 容量 127升
多种电极配置 电源-接地,接地-电源,电源-电源
电极插槽数 14
电极间距 25.4 毫米(600W) 50.8 毫米(1000W)
电极 电源电极面积 349毫米宽x 425毫米长
多孔接地电极面积 384毫米宽x 425毫米长
悬浮电极面积 349毫米宽x 425毫米长
射频功率 标配电源 600W
选配电源 1000W
频率 13.56 MHZ
气体控制 流量计
10、25、50、100、250、500、1000、2000或5000标准毫升/分钟
MFC可配置数
4
控制和接口 软件控制
PLC控制,配有触摸屏界面
远程接口
PlasmaLINK、ProcessLINK、SECS/GEM接口
真空泵
标配油泵
1500升/分钟,配有氧油除雾器
选配油泵
1500升/分钟,配有防锈油除雾器
选配干泵
1784升/分钟
干泵净化氮气用量
14升/分钟
干泵冷却水用量
5升/分钟
设施
电源
220伏,25安,50/60 赫兹,3相, 8 AWG,4线
380伏,25安,50/60 赫兹,3相, 8 AWG,5线
工艺气体管径及接口
外径6.35 毫米(0.25英寸)Swagelok管
工艺气体纯度
实验室或电子等级
工艺气体压力
0.069兆帕至0.103兆帕,可调节
净化气体管径及接口
外径6.35 毫米(0.25 英寸) Swagelok管
净化气体纯度
实验室或电子等级N2/CDA
净化气体压力
0.2兆帕至0.69兆帕,可调节
气动阀接口及管径
外径6.35 毫米(0.25 英寸)Swagelok管
压缩空气纯度
CDA、无油、露点温度 ≤7 C ,粒径<5微米
压缩空气压力 S小0.345兆帕至R大0.689兆帕,可调节
排放
0.345兆帕至0.689兆帕,可调节
合规性 半导体
通过SEMI S2/S8 (环境、健康和安全/人体工学)认证
国际 通过CE认证
辅助设备 气体发生器
氮气、氢气(需要其他不可选硬件)
设施
冷却器、洗涤器
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