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AP-1000 等离子系统
特点和优势
◎ 采用PLC控制，触摸屏式人机界面,实时工艺监控
◎ 灵活的电极组合适用于不同类型的产品载具实现Direct 或DownStream 模式等离子工艺
◎ 具有自动阻抗匹配的13.56MHz射频电源保证工艺的重复性
◎ 专有软件控制系统可记录工艺和生产数据，便于统计和工艺控制
苛刻生产环境下均匀的等离子体处理技术
诺信MARCH的AP-1000系统专为满足高性能制造环境下24小时操作严格要求而设计，可实现均匀等离子体处理，安全稳定且操作简便。
Ap1000型采用紧凑式设计，占地面积小，真空泵、腔体和电气控制件以及13.56MHZ射频电源都整合在设备内部，设备前部可方便完成操作维护，带有脚轮的真空泵装置方便检修。
等离子腔采用美规11标号的不锈钢和铝支架制造，坚久耐用。腔内可调整的电极组根据不同的产品载具，包括料盒、托盘、晶圆、晶舟等可灵活组合配置。
提高了生产率，满足大容量生产力要求
搭配HTP(高产能)电极的AP-1000等离子系统是综合了March特有的电极设计和AP-1000的高可靠性及其优良的工艺性。AP-1000 HTP充分利用了射频等离子产生的活性离子，不仅缩短工艺时间而且提高处理均匀性。
AP-1000HTP配备4路气体流量控制器，因工艺需求可选用不同的气体包括氩气、氢气和氦气等。
开槽式料盒可竖放于工艺腔内，通常每个料盒可放置20条引线框，根据料盒尺寸大小，一炉可放置12个料盒。
产品参数
| 项目 | 内容 | |
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外壳尺寸
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W(宽) x D （长) x H 高) -占地面积 | 0.68米宽 x 1.127米长 x 1.89米高 |
| 净重 | 485 公斤 (1069磅) | |
| 设备间隙 | 右边、左边-至少153 毫米，前面- 至少680毫米，后面-至少483毫米 | |
| 处理腔体 | 容量 | 127升 |
| 多种电极配置 | 电源-接地，接地-电源，电源-电源 | |
| 电极插槽数 | 14 | |
| 电极间距 | 25.4 毫米(600W) 50.8 毫米(1000W) | |
| 电极 | 电源电极面积 | 349毫米宽x 425毫米长 |
| 多孔接地电极面积 | 384毫米宽x 425毫米长 | |
| 悬浮电极面积 | 349毫米宽x 425毫米长 | |
| 射频功率 | 标配电源 | 600W |
| 选配电源 | 1000W | |
| 频率 | 13.56 MHZ | |
| 气体控制 | 流量计 |
10、25、50、100、250、500、1000、2000或5000标准毫升/分钟
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MFC可配置数
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4 | |
| 控制和接口 | 软件控制 |
PLC控制，配有触摸屏界面
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| 远程接口 |
PlasmaLINK、ProcessLINK、SECS/GEM接口
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真空泵
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标配油泵
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1500升/分钟，配有氧油除雾器
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选配油泵
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1500升/分钟，配有防锈油除雾器
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选配干泵
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1784升/分钟 | |
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干泵净化氮气用量
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14升/分钟 | |
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干泵冷却水用量
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5升/分钟 | |
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设施
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电源 |
220伏，25安，50/60 赫兹，3相， 8 AWG，4线
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380伏，25安，50/60 赫兹，3相， 8 AWG，5线
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工艺气体管径及接口
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外径6.35 毫米(0.25英寸)Swagelok管
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工艺气体纯度
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实验室或电子等级
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| 工艺气体压力 |
0.069兆帕至0.103兆帕，可调节
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净化气体管径及接口
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外径6.35 毫米(0.25 英寸) Swagelok管
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| 净化气体纯度 |
实验室或电子等级N2/CDA
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| 净化气体压力 |
0.2兆帕至0.69兆帕，可调节
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| 气动阀接口及管径 |
外径6.35 毫米(0.25 英寸)Swagelok管
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| 压缩空气纯度 |
CDA、无油、露点温度 ≤7 C ，粒径<5微米
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| 压缩空气压力 | S小0.345兆帕至R大0.689兆帕，可调节 | |
| 排放 |
0.345兆帕至0.689兆帕，可调节
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| 合规性 | 半导体 |
通过SEMI S2/S8 (环境、健康和安全/人体工学)认证
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| 国际 | 通过CE认证 | |
| 辅助设备 | 气体发生器 |
氮气、氢气(需要其他不可选硬件)
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设施
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冷却器、洗涤器 | |
