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CDS 等离子系统


特点和优势
容量大、占地面积小、运行成本低
具有生产待料的料条处理系统
均匀性和高产能的等离子处理技术
仅需拉出前方挂架,即可轻松维护各种服务组件
触摸屏图形用户界面(GUI)非常易于使用


优越的等离子处理技术、小占地面积、大容量
  FlexTRAK -CDS使用了诺信MARCH的等离子专利技术,拥有更大容量处理腔体的等离子体系统,可进行高度可重复性的工艺过程。该系统可确保整个基底表面都能处理均匀。
  和容量稍小的FlexTRAK-CD系统类似,FlexTRAK CDS专为高产能处理引线框条、层压基板和其他条形电子部件而设计,每个等离子体周期处理可多达10条。
  该系统适应于不同尺寸的条形,具有无法比拟的产品适用性。该系统不仅腔体空间小还具有专用的过程控制系统,缩短了周期时间,而且自动化程度也很高。

应用
引线键合(焊线)、塑封前,倒装芯片底部填充和固晶前需要等离子处理,如:
◆ 去污和表面清洗
● 氟与其他卤素
● 金属和金属氧化物
● 有机化合物

◆ 表面活化
● 提高粘晶胶流动性,消除空洞,提高粘合力
● 提高塑封材料流动性,消除空洞,降低打线偏离率
● 提高底部填充胶流动性,消除空洞,增强粘合力,提高芯吸速度

◆ 蚀刻和表面粗化
● 提高粘晶和打线的粘合力
● 提高塑封胶粘合力,降低分层


产品参数
项目 内容
外壳尺寸
W(宽) x D (长) x H 高) -占地面积
1.19米宽x 1.32米长 x 1.64米高(包含灯塔高度为2.114米)
净重 550公斤
设备间隙 右边、左边、后面-254毫米,前面-940 毫米
处理腔体
容量 9.6升
电极
多种电极配置
电源-接地,接地-电源,电源-电源
电极面积
305毫米宽x 550毫米长(12英寸宽 x 21英寸长)
射频电源
标配电源
600 W
选配电源
1000 W
流量计
13.56 MHz
气体控制
可用流量
10、25、50、100、250或500标准毫升/分钟
MFC可配置数
4
控制和接口
软件控制
外部外设控制器(EPC),配有PC端触摸屏界面
远程接□
SMEMA接口、SECS/GEM协议
真空泵
标配干泵
453升/分钟
选配湿泵
552升/分钟
选配净化干泵 453升/分钟
干泵净化氮气用量
2升/分钟
设施
电源
220 伏交流电,15安培,50/60 赫兹,1相,12AWG3线
工艺气体管径及接口
外径6.35 毫米(0.25英寸)Swagelok管
工艺气体纯度
实验室或电子等级
工艺气体压力
0.069兆帕至0.103兆帕,可调节
净化气体接口及管径
外径6.35 毫米(0.25英寸)Swagelok管
净化气体纯度 实验室或电子等级N2/CDA
净化气体压力
0.2兆帕至0.69兆帕,可调节
气动阀配接口及管径
外径6.35 毫米(0.25英寸)Swagelok管
压缩气体纯度
CDA、无油、露点温度 ≤7 C,粒径<5微米
压缩气体压力
0.345兆帕至0.689兆帕,可调节
排放
外径25.4 毫米(1英寸)管道法兰
合规性
半导体
通过SEMI S2/S8 (环境、健康和安全/人体工学)认证
国际
通过CE认证
辅助设备 气体发生器
氮气、氢气(需要其他不可选硬件)
设施
冷却器、洗涤器


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