◎ ATV SRO i-line系列作为全自动的设备,结合不同生产的需求,具备了手动上下科、料盒到料盒或者轨道到轨道(在线式)的多种生产模式,设备配备三个工艺腔体,每个腔体独立控制,可实现不同工艺不同产品的生产,并且具有自动甲酸补充系统。当其中一个腔体的储存罐内甲酸液面低于下限时,这套系统能自动填充甲酸,有效保证工艺运行龄连续性和可靠性。
◎ 主要应用:
功率芯片焊接;
IGBT封装,焊膏工艺;
基板/热沉焊接;
晶围凸点回流;
电子器件气密性封装;
MEMS器件真空封装;
真空/可控气氛退火;
材料合金化处理。