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Oven精密固化炉
设备标准配置
◎ 在线进料模组
◎ 进料对齐模组
◎ 高度可定义移栽模组
◎ 隔离式 10 温区加热炉腔
◎ 全温区过温智能保护
◎ 全温区保护气氛上腔
◎ 3 路分离式 N2，N2H2 加热模块
◎ 保护气压力侦测功能
◎ 出料对齐模组
◎ 出料料盒处理模组
◎ 废气防溢出装置
◎ 在线过滤装置
◎ QC 检测模组
◎ SMEMA 通讯连接
◎ 基于 windows 的操作控制系统
设备选配配置
● 在线含氧量监控模组
● 离线进料模组
● 智能连线模组（Zuì多可连接 8 台装片设备）
● 不锈钢镜面外壳
● 废气加热排气模块
● 程序自动下载（recipe 管控）
● 基板追踪系统
● SECS/GEM
设备技术数据
● 加热块有效加热面积（L*W/mm）:300*100
● 加热温度范围（℃）：室温~420
● 温度均匀性（℃）：%2.5@设定温度
● 温度控制精度：±1℃
● 加热速度（℃/min）：~20
● 温度调节：PID 模块调节
● 温度测量：双 TC 设计，一个测量温度，一个监控温度
● 过温保护：双重过温保护设计，一个在线式监控模块，一个独立式监控模块
含氧量规格
● <100PPM, 设备达到热稳定状况，炉腔以生产保护气流量充气稳定 20 分钟后测量
N2，N2H2 加热规格
● 三段式进气保护气加热
● 进出保护氮气Zuì高加热温度（℃）：250
● 高温区保护气Zuì高加热温度（℃）：250
● 温度均匀性：±5℃（一个测温点）
● 控温精度：±1℃
