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Oven精密固化炉
设备标准配置
在线进料模组
进料对齐模组
高度可定义移栽模组
隔离式 10 温区加热炉腔
全温区过温智能保护
全温区保护气氛上腔
3 路分离式 N2,N2H2 加热模块
保护气压力侦测功能
出料对齐模组
出料料盒处理模组
废气防溢出装置
在线过滤装置
QC 检测模组
SMEMA 通讯连接
基于 windows 的操作控制系统
设备选配配置

● 在线含氧量监控模组
● 离线进料模组
● 智能连线模组(Zuì多可连接 8 台装片设备)
● 不锈钢镜面外壳
● 废气加热排气模块
● 程序自动下载(recipe 管控)
● 基板追踪系统
● SECS/GEM

设备技术数据
单温区加热规格
● 加热块有效加热面积(L*W/mm):300*100
● 加热温度范围(℃):室温~420
● 温度均匀性(℃):%2.5@设定温度
● 温度控制精度:±1℃
● 加热速度(℃/min):~20
● 温度调节:PID 模块调节
● 温度测量:双 TC 设计,一个测量温度,一个监控温度
● 过温保护:双重过温保护设计,一个在线式监控模块,一个独立式监控模块
含氧量规格
<100PPM, 设备达到热稳定状况,炉腔以生产保护气流量充气稳定 20 分钟后测量
N2,N2H2 加热规格
三段式进气保护气加热
进出保护氮气Zuì高加热温度(℃):250
高温区保护气Zuì高加热温度(℃):250
温度均匀性:±5℃(一个测温点)
控温精度:±1℃

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